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第五世代液晶检查装置用解决方案 第五世代液晶检查装置用解决方案

行程:1200×1,470mm

装置尺寸:2,600×2,500mm

重复定位精度(上轴,下轴):±3.0μm、±3.0μm

最高速度(上轴):1,500mm/sec

最高速度(下轴):500mm/sec

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液晶制造用平台 液晶制造用平台
技术参数:
行程:690×1, 550mm
尺寸:1,600×1,660mm
定位时间:400msec
最高速度 :500mm/sec
真直度(垂直/水平)
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晶圆检查装置用XY平台 晶圆检查装置用XY平台
技术参数:
行程:340×340mm
尺寸:652×696×285mm
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液晶线宽和坐标测定机用XY平台 液晶线宽和坐标测定机用XY平台
技术参数:
行程:2,250×2,708mm
尺寸:3,638×4,140×2,034mm
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焊线机XYZ解决方案 焊线机XYZ解决方案
焊线机XYZ特点:
◆ 短行程 ◆ 高加速度
◆ 高刚性 ◆ 高精度
◆ 低负载
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